EM TIC 3X电镜制样技术解密手机触摸屏微观结构解析
admin 22 2025-04-03 14:27:08 编辑
用徕卡EM TIC3X三离子束研磨仪解剖手机触摸屏玻璃，看到截面多层膜结构。
样品：手机触摸屏玻璃
实验步骤：
预处理：玻璃刀切割掰断
EM TIC 3X三离子束研磨仪参数：
加速电压：7.5kV
离子束流：2.8mA
研磨时间：3h
切割深度：50μm左右
样品制备人员：徕卡纳米技术团队
手机触摸屏玻璃截面：放大倍率6,000
手机触摸屏玻璃截面：放大倍率50,000
手机触摸屏玻璃截面：放大倍率60,000
手机触摸屏玻璃截面：放大倍率80,000
总结
对这类玻璃基底多层膜样品，机械切割磨抛方式很难保证切割面的平整，也无法避免样品剖面的污染和边缘损伤；如果采用聚焦离子束FIB加工，应对几百微米的加工区域，将耗费大量时间和带来极高的使用成本。因此，氩离子束切割仪几乎成为高效率、低成本的获取无应力损伤和无污染的平整剖面的唯一的选择。
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